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　　真空鍍膜機(jī)使用機(jī)械泵、機(jī)械泵也被稱為前級(jí)泵、機(jī)械泵是應(yīng)用較廣的低真空泵油保持密封效果和依靠機(jī)械方法不斷改變泵吸入腔的體積，所以容器內(nèi)氣體的體積膨脹以獲得真空。機(jī)械泵有很多種，常用的滑閥式、往復(fù)活塞式、固定板式和回轉(zhuǎn)板式四種類型。
　　機(jī)械泵常用于清理干燥空氣，但不能清理過量的氧氣、爆炸性和腐蝕性氣體，但對(duì)水煤氣效果不好，所以不能清理水煤氣。轉(zhuǎn)子泵過程中起著重要作用的組件定子，轉(zhuǎn)子，彈片等，轉(zhuǎn)子與定子軸定子但不同,像兩個(gè)內(nèi)圈，轉(zhuǎn)子槽設(shè)有兩個(gè)彈片，兩個(gè)彈片中間的彈簧，保障彈片緊密附著在定子內(nèi)壁。
　　它的兩個(gè)彈片交替發(fā)揮著兩種作用，一方面從吸入氣體，另一方面，壓縮氣體已經(jīng)吸入，氣體從泵中排出。轉(zhuǎn)子每轉(zhuǎn)動(dòng)一次，泵就完成兩次吸氣和兩次排氣。當(dāng)泵繼續(xù)順時(shí)針旋轉(zhuǎn)時(shí)，旋轉(zhuǎn)葉片泵不斷地通過進(jìn)氣口吸入氣體，并從排氣口不斷地排出泵外，完成到抽吸容器的目的。為了提高限制真空泵泵定子浸泡在油，和間隙有害空間內(nèi)經(jīng)常保持石油，密封和填補(bǔ)空白空間的有害影響，防止氣體分子通過各通道反向流動(dòng)到低壓空間。
　　機(jī)械泵從大氣開始工作，其主要參數(shù)有極限真空度、抽速，這是機(jī)械泵設(shè)計(jì)和選型的重要依據(jù)。單級(jí)泵可將容器從大氣中抽吸至1.0* 10-1Pa的極限真空，兩級(jí)機(jī)械泵可將容器從大氣中抽吸至6.7* 10-2Pa或還高的極限真空。
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