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真空鍍膜設(shè)備

科技創(chuàng)新為動力 專業(yè)服務(wù)為目標(biāo)
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產(chǎn)品概述
       磁控濺射是在陰極靶表面上方形成一個正交電磁場，當(dāng)濺射產(chǎn)生的二次電子在陰極為降區(qū)內(nèi)加破加速為高能電子后，并不直接飛向陰極而是在正交電磁場作用下作來回振蕩運(yùn)動，在運(yùn)動中高能電子不斷的與氣體分子發(fā)生碰撞，并向后者轉(zhuǎn)移能量，使之電離而本身變?yōu)榈湍茈娮?，消除了高能電子對基體的轟擊。

技術(shù)參數(shù)
設(shè)備型號 VLT-1000 VLT-1200 VLT-1300
鍍膜室尺寸 Φ1000×1250 Φ1200×1250 Φ1300×1500
極限真空度 10-4Pa 10-4Pa 10-4Pa
抽氣時間 空載常溫抽至5×10-3Pa＜10min
膜厚儀 配置振測厚儀
蒸發(fā)源 電阻蒸發(fā)
學(xué)生靶 一對（中頻）
圓柱靶 一支
高壓轟擊 3000V 600MA 3000V 600MA 3000V 300MA
工件偏壓 1000V 20A 500 40A 1000V 20A 500 40A 1000V 30A 500 60A
工件旋轉(zhuǎn)方式 單/6/8轉(zhuǎn)公自轉(zhuǎn)行星式齒輪結(jié)構(gòu)
配置機(jī)組 K-600、ZJP300 K-600、ZJP300 K-800、ZJ600
2X-70 2X-70 2X-70
充氣系統(tǒng) 氣體質(zhì)量流量控制儀
烘烤溫度 350℃
控制系統(tǒng)配置 自控控制PLC及觸摸屏
說明：帶*配置由用戶退配，并可由用戶訂選造其他規(guī)格

設(shè)備原理圖示


磁控濺射鍍膜原理圖
 
       在適當(dāng)?shù)恼婵窄h(huán)境下充入一定量的氣體（如氬氣）加上60千瓦的直流電源時會產(chǎn)生幾百伏的高電壓產(chǎn)生電弧，在電弧環(huán)境下離子和電子并同靶材沖突產(chǎn)生鍍膜效果。

設(shè)備特性
       生產(chǎn)同期：生產(chǎn)同期短—60sec/1同期（干燥無大量放氣產(chǎn)品條件）
       鍍膜材料：適用各種金屬鍍膜（鋁、鎳、銅、鉻……等金屬材料）
       鍍膜方式：金屬濺射鍍膜和保護(hù)鍍膜連續(xù)完成（鍍膜后不需要其他防氣化處理）
       鍍膜品質(zhì)：亮度高，附著力強(qiáng)，光潔度好的產(chǎn)品注塑后可以直接鍍膜不需要底涂
       鍍膜速度：兩個60KW大功率磁控濺射電極，瞬間快速大范圍鍍膜
       除濕能力：真空室內(nèi)裝有零下140度以下的低溫冷凍系統(tǒng)，充分吸收濕氣提高真空到達(dá)速度
       運(yùn)營費(fèi)用：濺射電極是自行開發(fā)產(chǎn)品，大大提高了靶材的使用效率
       不良品率：省去通常的加工工序（底涂和鋁膜保護(hù)漆噴涂）減少不良品
       占地面積：在固定位置進(jìn)行上料和下料只要很小的操作空間
       操作方法：人機(jī)界面可以直觀的進(jìn)行設(shè)置和監(jiān)控，設(shè)有管理密碼無關(guān)人員無法更改
       售后服務(wù)：設(shè)有售后服務(wù)中心和配件倉庫，可以快速處理使用中的問題

極間靶磁控陰極
       配套了優(yōu)化的極間靶磁控陰極。對于普通的反射性鍍膜應(yīng)用而言，該設(shè)備將配套工作清潔用的中頻工位、等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積底層保護(hù)鍍膜、高速率濺射蒸發(fā)鍍膜、等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積表層保護(hù)鍍膜等相應(yīng)的膜層工藝室。

全自動工藝控制和整合
       設(shè)備的硬件和軟件設(shè)計(jì)可以與客戶生產(chǎn)線的傳送帶進(jìn)行有機(jī)的結(jié)合。傳送帶負(fù)責(zé)將工件架傳送到設(shè)備上料工位，從而將工件傳送到設(shè)備的鍍膜工位，在工件進(jìn)入下料工位時，傳送帶接收工件架并將工件傳送到下個生產(chǎn)崗位，設(shè)備通過與傳送帶的精確的配合，幫助客戶進(jìn)一步提高生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本和提高產(chǎn)能。

滿足客戶的高生產(chǎn)要求
       包括人機(jī)對話界面在內(nèi)的控制系統(tǒng)可以提供故障診斷、報警功能和數(shù)據(jù)日志管理。設(shè)備各個組件如陰極、驅(qū)動裝置和閥門等的安裝位置充分的考慮到了維護(hù)、維修的工作需要。機(jī)型的設(shè)計(jì)、選材和制造充分的反應(yīng)了唯力特真空設(shè)備準(zhǔn)則。